Doppel-Cluster-Zelle für UHV-Anlagen

Merkmale: Viele UHV-Anlagen haben nur eine eng begrenzte Anzahl an Flanschen, die sich für den Einbau von Verdampfern eignen. Die neue, auf einem DN40CF-Flansch aufgebaute und kompakte Doppel-Cluster-Zelle erhöht die Kapazität der UHV-Anlage, da auf einer Position zwei Materialien parallel verwendet werden können. Zwei unabhängige Effusionszellen mit je 600 mm³ Tiegelvolumen sind nebeneinander auf einem DN40CF-Flansch angeordnet. Verschiedene Tiegelmaterialien wie PBN, Quarz oder PG können eingesetzt werden. Eine effektive Wasserkühlung sorgt für die Minimierung des Leistungseintrags in die Vakuumkammer und für ein minimales Temperaturübersprechen zwischen den beiden Zellen. Es ist möglich, eine Zelle z. B. bei 1300 °C zu betreiben, während die andere Zelle ihre Temperatur bei 150 °C hält. Die beiden unabhängig voneinander einstellbaren, nicht überlappenden, durch einen Steg getrennten Shutter können individuell geöffnet und geschlossen werden. Das reduziert die thermische Wechselwirkung und verhindert die Kreuzkontamination der eingesetzten Verdampfungsmaterialien. Damit kann die Doppel-Cluster-Zelle für die Verdampfung sowohl von organischen Materialien im Niedertemperaturbereich als auch von Metallen wie Au, Ag, Bi, Ga, In, Sn verwendet werden.

Durch geschickte Kombination von UHV-Ventilen und den Rückzug der kompakten Quellen in einen Faltenbalg sind Nachfüllungen möglich, ohne das Vakuum zu brechen. Auch Befüllungen von sensitiven Materialien in Glove-Box-Systemen sind dadurch möglich.