Vakuum in Forschung und Praxis 6/2020
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Dünne Schichten
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Liveschaltung zum Dünnschichtwachstum: Ein Echtzeit‐Einblick in das Wechselspiel zwischen Struktur und Eigenspannung während der Sputterdeposition
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Vakuum
Study of oil free scroll vacuum pump characteristics: Comparison of experimental and calculated data
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