Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Titelbild: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Editorial

Free Access

An der Nanometergrenze: Strukturverkleinerung bedarf echter Innovation

Lisa Kleinen

Inhalt: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Magazin

News: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Personen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2021

Dünne Schichten

Coatings with barrier layers for extreme-short wavelengths: EUV lithography for the semiconductor industry and beyond

Sergiy Yulin, Marcus Trost, Stefan Schwinde, Sven Schröder

Hohe Ladung trifft dünne Schicht: Strukturierung freitragender Schichten mittels Ladungsaustausch

Richard A. Wilhelm

Vakuum

Wuchttechnologie von Turbopumpen-Rotoren: Laserablation behebt ungleiche Massenverteilung noch effizienter

Pascal Wielsch, Alexander Kreuter, Andreas Schopphoff

Anwenderbericht

New Routes to More Efficient Vapor Deposited Metal-Halide Perovskite Films: Understanding growth mechanisms and effects of grain boundaries

Dr. John Naylor

Gelernt IST Gelernt

Teil 14: Die Wiederbedeckungszeit

Dr. Gerhard Voss

Magazin

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