Vakuum in Forschung und Praxis 6/2018

Prozessdiagnostik als Grundlage für Industrie 4.0 – hier realisiert mittels passiver Thermosonde zur Messung des integralen Energieeinstroms in einem HiPIMSProzessplasma. (S. 34 ff; Bild: Prof. Dr. Holger Kersten, AG Plasmatechnologie, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel)

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