Vakuum in Forschung und Praxis 3/2020

Sputtering makes the world go round: Kaum eine Anwendung, die nicht von dieser Spielart der vakuumgestützten Beschichtungsverfahren profitieren könnte. Ab Seite 16 werden zugehörige Anlagenkonzepte vorgestellt.
(Bilder: canadastock/Shutterstock, iStockphoto/Getty Images)

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