Laser

UV-Excimerlaser für Pulsed Laser Deposition

Angebot: Neues Modell der Baureihe „LEAP“ von Ultraviolett-Lasern im wartungsfreien Industrie-Design mit exzellenten Strahleigenschaften. Die „LEAP“-Modelle bieten Ausgangsleistungen von 80 Watt bis 300 Watt, neu ist jetzt die hohe Pulsenergie von 1,25 Joule.

Merkmale: Alle Laser der Baureihe zeichnen sich durch ein kompaktes Industrie-Design (2563 mm × 820 mm × 1125 mm) für einfache Integration aus, einschließlich hoher Durchschnittsleistung (300 W bei 308 nm und bei 248 nm sowie 60 W bei 193 nm). Sie bieten einen integrierten Pulse-on-Demand-Betrieb zur passgenauen, auf den jeweiligen Prozessablauf optimal abgestimmte Pulsfolge und eine Ethernet-Schnittstelle zur Steuerung und zur schnellen Datenaufnahme. Die zeitliche Pulsbreite von etwa 30 ns und die hohe Pulsenergiestabilität von unter 1,2 % (1-sigma-Intervall) bieten eine hohe Reproduzierbarkeit in der Dünnschichtbearbeitung. Die Laser sind für sehr lange Lebensdauern und niedrige Betriebskosten im Dreischichtbetrieb ausgelegt.

Anwendungen: Die Laser der Baureihe eignen sich für anspruchsvolle Anwendungen wie die gepulste Laserdeposition (PLD), insbesondere für den industriellen Dreischichtbetrieb, für eine Vielzahl anderer Anwendungen in der Dünnschicht-Strukturierung (bei diesem Verfahren wird eine feine Struktur durch Photomaskenprojektion erzeugt) und für die Produktion von Mikro-LED-Displays.

Kontakt

Coherent Shared Services B.V.

PR EU Petra Wallenta, Dieselstr. 5b
64807 Dieburg
Deutschland

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+49 (0)6071 968-499

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