Turbopumpen mit hohem Saugvermögen für leichte Gase
Angebot: Kompakte, besonders leise Turbopumpen „HiPace 350“ und HiPace 450“, die sich besonders für Anwendungen wie Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Messtechnik, Teilchenbeschleuniger und Plasmaphysik eignen. Ihr breites Einsatzspektrum umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie.
Merkmale: Die neuen Pumpen bieten hohe Leistung (Saugvermögen 300 bis 700 l/s) bei geringem Gewicht und Platzbedarf. Die robuste Hybridlagerung, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, sorgt für maximale Zuverlässigkeit. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Kunden vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen bis zu 5 Jahre wartungsfrei.
Die innovative Rotorkonstruktion führt zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu umfassender Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie sehr guter Kompression leichter Gase. Sie sorgt zudem für hohe Kosteneffizienz und Flexibilität, da die Pumpen in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden können.
Die integrierte Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert.
