Messtechnik

SIMS-Systeme

Angebot: Vielseitige, hochempfindliche Messgeräte für UHV-Oberflächenuntersuchungen und die Oberflächenanalyse mit dynamischer und statischer Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS). Das Angebot umfasst eine Reihe von Massenspektrometrie-Produkten für die Identifizierung von Schichtstrukturen, Untersuchungen von Oberflächenkontaminationen und die Endpunktdetektion.

Die „SIMS-Workstation“ ist ein umfassendes System für die Tiefenprofilierung und Zusammensetzungsanalyse von Proben in verschiedenen Bereichen der Oberflächenanalyse, Dünnschichttechnik, Nanotechnologie, Brennstoffzellenforschung und mehr. Die Workstation kombiniert dynamische und statische SIMS-Analysen mit einem Dual-Mode-Massenspektrometer für positive (+ve) und negative (–ve) Ionendetektion und einem zusätzlichen sekundären neutralen Massenspektrometrie (SNMS)-Detektionsmodus für höchste Flexibilität in der Oberflächenanalyse.

Das neue System „Hiden TOF-qSIMS“ ist ein innovatives Flugzeit-Quadrupol-SIMS-System, das für die Oberflächenanalyse und Tiefenprofilierung einer Vielzahl von Materialien wie Polymeren, Pharmazeutika, Supraleitern, Halbleitern, Legierungen, optischen und funktionalen Beschichtungen und Dielektrika entwickelt wurde, mit Messung von Spurenkomponenten bis in den sub-ppm-Bereich.

Der „Hiden EQS“ ist ein einzigartiger elektrostatischer Quadrupol-SIMS-Detektor, der auf die massenspektrale Analyse von positiven (+ve) und negativen (–ve) Sekundärionen aus festen Proben spezialisiert ist. Mit seinem integrierten elektrostatischen 45°-Sektor-Ionenenergieanalysator kann der Detektor gleichzeitig die Ionenenergie mit einer Auflösung von 0,2 eV analysieren. Dies macht es zu einem der vielseitigsten Werkzeuge für Ionenanalysen in einer Reihe von Massenspektrometrie-Anwendungen.

Kontakt

Hiden Analytical Europe GmbH

Kaiserswerther Straße 215
40474 Düsseldorf
Deutschland

+49 (0)211 54080 302

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