Vakuumtechnik

Plasmadiagnose

Angebot: Fortschrittliches Plasmadiagnosesystem „EQP“ mit kombiniertem Hochtransmissions-Ionenenergieanalysator und Quadrupol-Massenspektrometer.

Merkmale: Das Gerät erfasst die Massenspektren und Energieverteilungen von Neutralen, Radikalen und Ionen (positiv und negativ). Trends in der Intensität sind über die Zeit erfassbar. Schnelle Erfassungsmodi ermöglichen die Untersuchung von Transienten und Nachleuchten. Das „EQP“-Massenspektrometer ist ein PC-gesteuertes Gerät für die Plasmaanalyse und -diagnostik. Spektren können mit der Windows-basierten Software „MASsoft“ einfach erfasst, gespeichert und manipuliert werden.

Das System umfasst einen elektrostatischen Sektorenfeld-Energieanalysator für die Ionenenergieanalyse. Auf den Energieanalysator folgt ein Dreifach-Quadrupol-Massenfilter. Ein pulsionenzählender Elektronenvervielfacher, konfiguriert für die Detektion positiver oder negativer Ionen, ist enthalten. Dieser Detektor bietet hohe Empfindlichkeit, schnelles Ansprechverhalten und einen hohen Dynamikbereich (>1010) für Plasma-Ionen und Neutrale. Der Massenbereich umfasst 300 amu, 510 amu, 1000 amu und 2500 amu. Standard ist ein Energiebereich von 100 eV, optional 1000 eV, um dem Anwender die Analyse von positiven und negativen Ionen und Erscheinungspotentialspektren für die Radikalanalyse zu ermöglichen. Ferner ist Signal-Gating durch direkten TTL-Eingang verfügbar mit einer Gating-Auflösung bis zu 1 µs für Nachleuchtstudien.

Kontakt

Hiden Analytical Europe GmbH

Kaiserswerther Straße 215
40474 Düsseldorf
Deutschland

+49 (0)211 54080 302

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