Messtechnik

Plasmadiagnose

Angebot: Fortschrittliches Plasmadiagnosesystem „EQP“ mit kombiniertem Hochtransmissions-Ionenenergieanalysator und Quadrupol-Massenspektrometer. Das Gerät erfasst die Massenspektren und Energieverteilungen von Neutralen, Radikalen und Ionen (positiv und negativ). Trends in der Intensität sind über die Zeit erfassbar. Schnelle Erfassungsmodi ermöglichen die Untersuchung von Transienten und Nachleuchten.

Merkmale: Das PC-gesteuerte System eignet sich für die Plasmaanalyse und -diagnostik. Spektren können mit der Windows-basierten Software „MASsoft“ einfach erfasst, gespeichert und manipuliert werden. Das Massenspektrometersystem umfasst einen elektrostatischen Sektorenfeld-Energieanalysator für die Ionenenergieanalyse. Auf den Energieanalysator folgt ein Dreifach-Quadrupol-Massenfilter. Ein pulsionenzählender Elektronenvervielfacher, konfiguriert für die Detektion positiver oder negativer Ionen, ist enthalten. Dieser Detektor bietet hohe Empfindlichkeit, schnelles Ansprechverhalten und einen hohen Dynamikbereich (>1010) für Plasma-Ionen und Neutrale. Der Massenbereich umfasst 300 amu, 510 amu, 1000 amu und 2500 amu. Ein Energiebereich von 100 eV ist Standard und 1000 eV optional, um dem Anwender die Analyse von positiven und negativen Ionen und Erscheinungspotentialspektren für die Radikalanalyse zu ermöglichen. Signal-Gating durch direkten TTL-Eingang ist ebenfalls verfügbar mit einer Gating-Auflösung bis zu 1 μs für Nachleuchtstudien.

Kontakt

Hiden Analytical Europe GmbH

Kaiserswerther Straße 215
40474 Düsseldorf
Deutschland

+49 (0)211 54080 302

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