Optik / Photonik

Optische Profiler speziell für Mikrofluidik-Anwendungen

Hersteller: KLA.

Angebot: Baureihe „Zeta“ von optischen Profilern mit der patentierten „ZDot“-Technik, bei der ein projiziertes Gitter zur genauen Bestimmung der inspizierten Oberfläche verwendet wird. Das Verfahren erlaubt schnelle Messungen an strukturierten Proben mit steilen Flanken und niedriger Reflektivität. Für andere Oberflächen (z. B. glatte, transparente usw.) ist eine Vielzahl an optischen Modulen erhältlich, mit denen der Anwender die Instrumente seinen speziellen Anforderungen anpassen kann.

Merkmale: Mikrofluidik-Instrumente erlauben biologische und chemische Untersuchungen unter kontrollierten Bedingungen, indem die verschiedene Fluid-Funktionen in einem Gerät zusammengefasst sind. Lithografische Verfahren wurden durch Laserablation verdrängt, wo sehr kurze Laserpulse auf kleine Bereiche des Substrats fokussiert werden. Die laterale Größe der entstehenden Krater wird durch die Laserfokusgröße, die Tiefe durch die Anzahl der Pulse gesteuert. Diese Laserverfahren führen allerdings zu wärmeinduzierten Verformungen, irregulären Formen, steilen Flankenwinkeln, niedrigem Bildkontrast und geringer Reflektivität, was die Messung mit traditionellen Interferometern und konfokalen Profilern erschwert. Hier sind die Detektionssoftware „Zeta3D“ sowie die „ZDot“-Technik weit vorteilhafter als andere Verfahren.

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Schaefer Technologie GmbH

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