Vakuumtechnik

Neue Turbopumpe für Ionenimplantationsprozesse

Angebot: Neue Turbopumpe „HiPace 2800 IT“, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist.

Merkmale: Die durchdachte Rotorkonstruktion führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2600 l/s für Wasserstoff ist das neue Modell die beste Turbopumpe ihrer Klasse.

Das intelligente Temperaturmanagementsystem verhindert Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems. Es ermöglicht die individuelle Einstellung der Temperatur, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse. Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnen sich diese Turbopumpen durch eine besonders robuste Lagerausführung aus. Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung bildet dies die Grundlage für die lange Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit der Pumpen und niedrige Betriebskosten.

Contact

Pfeiffer Vacuum

Berliner Str. 43
35614 Aßlar
Deutschland

+49 6441 802-0

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