Messung elektrischer Kenngrößen mittels AFM
Anbieter: CSI Concept Scientific Instruments.
Merkmale: Das patentierte „ResiScope“-Modul dient zur ortsaufgelösten Darstellung der elektrischen Probenleitfähigkeit. Innerhalb eines AFM-Bilds kann problemlos ein Leitfähigkeitsbereich über 10 Dekaden dargestellt werden (dynamischer Bereich: 100 fA – 1 mA). Anspruchsvolle Oberflächen, z. B. hochleitende Substrate mit isolierenden Domänen, lassen sich ohne störende Nebeneffekte wie spitzeninduzierte lokale Oxidation, bimetallische Effekte oder das Schmelzen der Spitzenbeschichtung messen. Die Messung der elektrischen Leitfähigkeit kann auch mit verschiedenen anderen dynamischen Modi wie KFM oder MFM/EFM mit derselben Spitze auf demselben Messbereich kombiniert werden.
Das „Soft ResiScope“ bietet die Erweiterung der „ResiScope“-Leitfähigkeitsmessungen vom Contact Mode auf den Intermittent Contact Mode. Damit lassen sich auch sehr fragile und weiche Oberflächen elektrisch untersuchen, die durch die höheren Kräfte im Contact Mode so stark in Mitleidenschaft gezogen würden, dass sie nicht messbar wären.