Laser

Kostengünstig und einfach: Gaslaser-Ersatz mit 1 Watt @ 405 nm

Angebot: Neuer Laser „TopWave 405“, ein kosteneffizienter Gaslaser-Ersatz für den einfachen und fernbedienbaren Betrieb in Lithografie- und Holografie-Anwendungen.

Merkmale: Der neue Laser ersetzt die sperrigen und stromhungrigen Krypton-Ionen-Gaslaser (406,7 nm und 413,1 nm), die häufig in lithografischen und holografischen Anwendungen eingesetzt werden. Er bietet 1 W Ausgangsleistung bei 405 nm, kombiniert mit einer hervorragenden Strahlqualität; Strahldurchmesser und M2 (typ. 1,15) sind auf die gängigen Gaslaser-Parameter abgestimmt und ermöglichen so eine einfache Integration ohne wesentliche Änderungen am optischen System. Die im Vergleich deutlich höhere Kohärenzlänge (> 100 m) ergibt einen Vorteil hinsichtlich der stabilen Mustererzeugung in der Interferenzlithografie oder Holografie.

Während Gaslaser mehrere Kilowatt an elektrischer Leistung und eine aufwendige Wasserkühlung benötigen, verbraucht der rein auf Halbleiterlasertechnologie basierende neue Laser weniger als 100 W und benötigt keine Wasserkühlung. Dies allein führt zu einer erheblichen Reduzierung der Betriebskosten. Von Vorteil sind die längeren Serviceintervalle und geringeren Wartungskosten. Geschultes Personal kann den Austausch der einzelnen im Feld tauschbaren Halbleiterkomponenten einfach vor Ort durchführen, was die Ausfallzeiten reduziert und die Rentabilität erhöht.

Das System bietet eine vollautomatische Optimierung der Optomechanik sowie eine Stabilisierung der Ausgangsleistung. Dies ermöglicht eine einfache und ferngesteuerte Bedienung des Systems über die mitgelieferte grafische Benutzeroberfläche oder mittels Integration in die Steuerungssoftware des Kunden.

Hauptanwendungen: Lithografie, Laser-Direktbelichtung, Maskenschreiben, Holografie, Nanofabrikation.

Kontakt

TOPTICA Photonics AG

Lochhamer Schlag 19
82166 Gräfelfing
Deutschland

+49 (0)89 85837-0
+49 (0)89 85837-200

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