Merkmale: Die neuen „MLL-82“-Positionierer ermöglichen Geschwindigkeiten von bis zu 0,9 m/s. Darüber hinaus sind sie nahezu wartungsfrei und sehr kompakt konstruiert. Der Verfahrweg kann in 100-mm-Schritten in einem Bereich von 105 mm bis 405 mm konfiguriert werden.Eine unidirektionale Wiederholgenauigkeit von ±45 nm und ein kleinstes Bewegungsinkrement von 10 nm machen die Positionierer zu einer idealen Lösung für automatisierte Prüfungen. In Kombination mit einem „MLS“-Positionierer in Kreuztisch-Anordnung können z. B. Messobjekte schnell und präzise unterhalb von Inspektionssystemen positioniert werden, sodass aussagekräftige Messungen mit einem hohen Durchsatz möglich sind. Mithilfe einer weiteren MLS-Achse kann man Inspektionssysteme senkrecht zum Messobjekt z.B. zur Fokussierung positionieren. Aufgrund der hohen Genauigkeit lassen sich Bildbereiche nanometerpräzise aneinanderfügen und somit Messbereiche bzw. Bildausschnitte auf einer Fläche von z. B. 65 × 400 mm² realisieren. Durch eine optionale Gewichtskraftkompensationseinheit lässt sich das Eigengewicht des vertikal operierenden Inspektionssystems ausgleichen und so beim Positionieren in dieser Richtung dynamische Beschleunigungen erreichen. Controller können per C/C++, Python oder LabVIEW in die Produktumgebung integriert werden.