Messtechnik

Ionenstrahlanalytik

Angebot: Komplette Systeme, Komponenten und Messdienstleistungen für die Ionenstrahlanalytik (IBA) unter anderem mit den Methoden der Rutherford-Rückstreuspektrometrie (RBS), der Kernreaktionsanalyse (NRA), der Gammaemissionsanalyse (PIGE) und der Röntgenemissionsanalyse (PIXE) auf industriellem Standard. – Aachen Ion Beams ist ein Startup-Projekt des Forschungszentrums Jülich.

Merkmale: Die vielseitigste Messkammer „Beam-Science“ ermöglicht ein breites Spektrum hochauflösender Analysen in der Material- und Dünnschichtforschung. Die Grafik zeigt eine reale RBS-Messung eines Stahls für Hochtemperaturdampfprozesse. Sie zeigt die Trennung von Fe und Cr mittels eines Standard-Siliziumdetektors. Die Auswertesoftware „IBA-AI“ ermöglicht die Vermessung von Oberflächen von der Mikrometer- bis zur 450- mm-Wafer-Skala mit bis zu 128 × 128 Punkten pro Arbeitstag. Ein eigens entwickelter Ringdetektor steigert die Messleistung zusätzlich um den Faktor 4.

Das System „Beam-Battery“ ermöglicht die Messung der Probenstöchiometrie unter Atmosphäre ohne Präparationsschritte, z. B. von Batteriepulvern. Damit bietet das System eine Alternative u. a. zu ICP-OES, wo aufgrund des Probenvorbereitungsprozesses regelmäßig systematische Unsicherheiten in der Bestimmung komplexer Stöchiometrien entstehen. Die Ionenstrahlanalytik vermeidet diese Unsicherheiten, da hier direkt die Atomkerne vermessen werden und die gesamte Stöchiometrie in einer einzigen Messung ermittelt wird. Der hohe Durchsatz führt zu vergleichbaren Kosten pro Messung wie bei konventionellen System, bei genaueren Ergebnissen.

Diese und weitere Lösungen stehen als Komplettsysteme inkl. Beschleuniger oder als Komponenten zur Erweiterung bestehender Systeme zur Verfügung.

Kontakt

Aachen Ion Beams

Dr. Sören Möller
Deutschland

+49 (0)151 51838866

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