Vakuumtechnik

Hochvakuumumgebung für AFM

Angebot: Hochvakuumumgebungen für die elektrische Rasterkraftmikroskope (Electrical Atomic Force Microscopy, AFM). Die sog. „Scanning Spreading Resistance Microscopy“ (SSRM) im Hochvakuum ist für das Park „NX-Hivac“ erhältlich. Es erlaubt 2D-Ladungsträgerprofiling und misst die hochauflösenden SSRM-Bilder unter Hochvakuum, um so die Produktionsausbeute zu steigern.

Merkmale: SSRM erlauft eine höhere Empfindlichkeit und Auflösung im Hochvakuum als unter Normalbedingungen, führt zu einer höheren Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen, gestattet die Aufnahme mehrerer Eigenschaften (elektrische, mechanische, topographische) gleichzeitig, erhöht (im sog. PinPoint-Mode) die Lebensdauer der Messspitze und verringert Probenschäden und erzeugt reibungslose Bilder (im PinPoint-Mode).

Die konduktive AFM-Messungen (C-AFM) im Hochvakuum verbessert die Bildqualität erheblich und sorgt für eine bessere Materialanalyse. Insbesondere sind die gemessenen Ströme drei Größenordnungen stärker als unter Normalbedingungen und deutlich homogener. Die im HV aufgenommenen Strom-Maps sind merklich detaillierter als an Luft aufgenommene.

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Park Systems Europe GmbH

Janderstraße 5
68199 Mannheim
Deutschland

+49 (0)621 490896-50

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Vakuum- und Niederdrucksysteme werden für unterschiedliche Zwecke, wie Elektronenmikroskope oder in der Halbleiterherstellung, eingesetzt. Forscher und Entwickler, die mit Vakuumsystemen arbeiten, nutzen verstärkt Simulation für eine effizientere Entwicklung und zur Reduktion kostspieliger Prototypen.

 

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