Laser

Erzeugung von Funktionsschichten mit dem Excimerlaser

Angebot: Excimerlaser (Ablationslaser) der Baureihe „COMPex“ für die angewandte Materialforschung, der sich durch kleine Standfläche (ca. 0,5 m²) und einfache Integration in bestehende Ablationssysteme auszeichnet.

Hintergrund: Die Lasermaterialabscheidung (Pulsed Laser Deposition, PLD) gehört heute zu den vielversprechendsten Herstellungsmethoden für komplexe Funktionsschichten mit einzigartigen Eigenschaften. Hochtemperatursupraleitende Bandmaterialien (Coated Conductors), Displayschichten oder piezoelektrische Dünnwafer lassen sich mit dem Excimerlaser bei Wellenlängen von 248 nm oder 308 nm mit hoher Qualität erzeugen. Je nach gefordertem Durchsatz stellen Excimerlaser heute UV-Leistungen von mehreren hundert Watt zur Verfügung und arbeiten bei industriellen PLD-Anwendern im Zwei- und Dreischichtbetrieb.

Angebot: In der angewandten Materialforschung setzt die neueste Generation der „COMPex“-Serie den Standard für reproduzierbare Schichtergebnisse. Alle Modelle besitzen einen Einphasenanschluss und lassen sich bis 20 Hz Pulswiederholrate sogar mit Luftkühlung betreiben. Der Laser bietet Pulswiederholraten bis 100 Hz und Pulsenergien bis 750 mJ. Aus der Keramik-Vorionisierung resultiert eine ausgezeichnete Homogenität und Energiestabilität des Laserstrahls, die zu bestens reproduzierbaren Abscheidungsergebnissen führt.

Mit über 1000 verkauften Einheiten ist der „COMPex“ seit vielen Jahren der Standardlaser in der wissenschaftlichen, gepulsten Laserschichtabscheidung (Pulsed Laser Deposition) und ermöglicht dem Materialforscher ein gezieltes Abscheiden diverser Funktionsschichten mit komplexer Stöchiometrie auf nahezu allen Oberflächen.

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Coherent Shared Services B.V.

Dieselstr. 5b
64807 Dieburg
Deutschland

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+49 (0)6071 968-499

Die äußerst leisen, kompakten, ölfreien Pumpen

Die Modelle der neuen Scrollpumpenbaureihe HiScroll von Pfeiffer Vacuum sind ölfreie, hermetisch dichte Vakuumpumpen. Die kompakte Bauweise sowie leiser und vibrationsarmer Betrieb zeichnen die Neuentwicklungen besonders aus.

Erleben Sie unsere neue HiScroll – die ölfreien Vakuumpumpen von Pfeiffer Vacuum in 3D!

 

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Einen Schritt weiterdenken – die neue Generation der Scrollpumpen:


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Pfeiffer Vacuum.

 

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