Nanotechnologie

Elektrische Charakterisierung von Halbleiterchips

Angebot: Nanoprober „SMARPROBE LX“ zur elektrischen Charakterisierung und zur Fehleranalyse von Halbleiterchips und Nanomaterialien. Das neuartige Closed-loop-Bewegungssystem ermöglicht ein einfaches und zuverlässiges Kontaktieren und Manipulieren im Nanometerbereich.

Merkmale: Das System besteht aus bis zu acht Manipulatoren und einem Probentisch mit neuester Positioniertechnologie. Jeder von ihnen wird in einem geschlossenen Regelkreis (closed-loop) gesteuert, wodurch eine wohldefinierte Positionierung mit 1 nm Auflösung auf einer Probenfläche von 25 × 25 Millimeter Probenfläche möglich ist.

Die Sonden und die Probe lassen sich über Absolutwerte (CAD), über „point-and-click“ im Mikroskopbild oder über eine intuitive Steuerung per Joystick navigieren. Die aktive Temperaturregelung des Systems ermöglicht stabile elektrische Kontaktierung von Nanomaterialien oder auch von 7-Nanometer-Transistoren, selbst unter nicht idealen thermischen Umgebungsbedingungen. Die einzigartigen Hybrid-Positionierer sorgen mit einen Scanbereich von über 10 Mikrometern ein reibungsloses und einfaches Nanoprobing.

Um das Kontaktieren der Sonde zu vereinfachen, ermöglicht der „Advanced Probe Holder“ eine automatische Kontaktierung auf jedem Material, leitend oder nicht leitend. Darüber hinaus verfügt er über einen integrierten rauscharmen Stromverstärker zur schnellen und rauscharmen Abbildung von Strömen, z. B. aus Elektronenstrahlabsorption (EBAC).

Anwendungen: Das System kann für High-End-Anwendungen innerhalb des Elektronenmikroskops oder für einfachere Anwendungen innerhalb des Lichtmikroskops konfiguriert werden. Komplettlösung reichen von der Herstellung von Wolframspitzen bis hin zur Integration in ein Elektronenmikroskop.

Contact

SmarAct GmbH

Schütte-Lanz-Straße 9
26135 Oldenburg
Deutschland

+49 (0)441 800879-0
+49 (0)441 800879-21

Die nächste Generation der effizienten Lösung für die Gasanalyse von Pfeiffer Vacuum

OmniStar und ThermoStar sind kompakte Benchtop-Analysegeräte für Probengase die unter Atmosphärendruck vorliegen. Sie sind die perfekte Komplettlösung zur Gasanalyse, insbesondere bei chemischen Prozessen, in der Halbleiterindustrie,

Metallurgie, Fermentation, Katalyse, Gefriertrocknung und bei der Umweltanalyse. Die Analysesysteme bestehen aus Einlasssystem, Massenspektrometer PrismaPro, trocken verdichtender Membranvakuumpumpe MVP und Turbopumpe HiPace.

 

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Erleben Sie unsere neue HiScroll – die ölfreien Vakuumpumpen von Pfeiffer Vacuum

Die HiScroll Serie besteht aus drei ölfreien und hermetisch dichten Scrollpumpen mit einem nominellen Saugvermögen von 6 – 20 m³/h. Die Pumpen zeichnen sich insbesondere durch ihre hohe Leistung beim Evakuieren gegen Atmosphäre aus. Ihre leistungsstarken IPM*-Synchronmotoren erzielen einen bis zu 15% höheren Wirkungsgrad in Vergleich zu konventionellen Antrieben.

*Interior Permanent-Magnet

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