Elektrische Charakterisierung von Halbleiterchips
Angebot: Nanoprober „SMARPROBE LX“ zur elektrischen Charakterisierung und zur Fehleranalyse von Halbleiterchips und Nanomaterialien. Das neuartige Closed-loop-Bewegungssystem ermöglicht ein einfaches und zuverlässiges Kontaktieren und Manipulieren im Nanometerbereich.
Merkmale: Das System besteht aus bis zu acht Manipulatoren und einem Probentisch mit neuester Positioniertechnologie. Jeder von ihnen wird in einem geschlossenen Regelkreis (closed-loop) gesteuert, wodurch eine wohldefinierte Positionierung mit 1 nm Auflösung auf einer Probenfläche von 25 × 25 Millimeter Probenfläche möglich ist.
Die Sonden und die Probe lassen sich über Absolutwerte (CAD), über „point-and-click“ im Mikroskopbild oder über eine intuitive Steuerung per Joystick navigieren. Die aktive Temperaturregelung des Systems ermöglicht stabile elektrische Kontaktierung von Nanomaterialien oder auch von 7-Nanometer-Transistoren, selbst unter nicht idealen thermischen Umgebungsbedingungen. Die einzigartigen Hybrid-Positionierer sorgen mit einen Scanbereich von über 10 Mikrometern ein reibungsloses und einfaches Nanoprobing.
Um das Kontaktieren der Sonde zu vereinfachen, ermöglicht der „Advanced Probe Holder“ eine automatische Kontaktierung auf jedem Material, leitend oder nicht leitend. Darüber hinaus verfügt er über einen integrierten rauscharmen Stromverstärker zur schnellen und rauscharmen Abbildung von Strömen, z. B. aus Elektronenstrahlabsorption (EBAC).
Anwendungen: Das System kann für High-End-Anwendungen innerhalb des Elektronenmikroskops oder für einfachere Anwendungen innerhalb des Lichtmikroskops konfiguriert werden. Komplettlösung reichen von der Herstellung von Wolframspitzen bis hin zur Integration in ein Elektronenmikroskop.
Contact
SmarAct GmbH
Schütte-Lanz-Straße 9
26135 Oldenburg
Deutschland
+49 (0)441 800879-0
+49 (0)441 800879-21
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