Messtechnik

Automatisierte Präzisions-Widerstandsmessung

Anbieter: HZDR Innovation.
Technologiegeber: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf.
Angebot: „Tensormeter“ für automatisierte Präzisionsmessungen von Spannungen und Widerständen, das insbesondere die gleichzeitige Erfassung aller Komponenten des Widerstandstensors ermöglicht. Die flexible Architektur auf Basis einer Schaltmatrix vereint die Vorteile von Lock-in-Verstärkern und Source/Measure Units in einem Gerät.

Merkmale: Es stehen acht Kanäle zur Verfügung, deren Funktion (Eingang oder Ausgang) mit der integrierten Schaltmatrix des Tensormeters frei bestimmt werden kann. Damit können sowohl konventionelle Vierpunktmessungen als auch Messungen mit wechselnder Verschaltung der Kontakte durchgeführt werden. So ermöglicht das Tensormeter die gleichzeitige und offsetfreie Messung von Sheet- und Hall-Widerstand mit hoher Präzision und extrem niedrigem Rauschen, selbst an unstrukturierten Dünnschichtproben. Damit kann bei vielen Charakterisierungsaufgaben auf einen Lithografie-Prozess zur Probenpräparation verzichtet werden.

Die Schaltmatrix ermöglicht auch ratiometrische oder differenzielle Messungen zwischen mehreren Proben oder Referenzwiderständen. Somit lassen sich extrem geringe Driftwerte von deutlich unter 0,2 ppm/K erreichen, wodurch in vielen Fällen keine Kalibrierintervalle mehr nötig sind. Es können DC- und AC-Messungen (auch gleichzeitig) durchgeführt werden. Auch die Ausgabe von Pulsen und Arbiträrsignalen ist möglich.

Anwendungen: Tensormeter kann für eine Vielzahl von Messanwendungen in der Materialforschung, der Dünnschichtcharakterisierung sowie im Bereich Wafer- und Device-Tests eingesetzt werden.

Contact

Tensormeter | HZDR Innovation GmbH

Bautzner Landstraße 400
01328 Dresden
Deutschland

+49 (0)351 260-2710

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Die äußerst leisen, kompakten, ölfreien Pumpen

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