Vakuum in Forschung und Praxis

Aktuelle Ausgabe - Volume 25 Issue 2 (April/Mai 2013)

Titelbild

Editorial

Jubiläum

Time to Say Goodbye

  • Johann Scherle
  • Seite 5-5

Inhalt

Jubiläum

Die Geschichte der Vakuumtechnik

Ausgehend von ersten Gedanken über die Existenz der Leere und der Verneinung einer solchen wird vom philosophischen Weltbild der Antike der Bogen zur modernen Vakuumtechnik gespannt. Mit den ersten Experimenten im 17. Jahrhundert wurde die Tür zur modernen Vakuumtechnologie aufgestoßen. Ohne die Erkenntnisse, Gesetzmäßigkeiten und Erfindungen, die seitdem auf dem Gebiet der Gaskinetik, Strömungslehre sowie Vakuumerzeugung...

  • Heinz Barfuss
  • Seite 8-13

Ionenzerstäuberpumpen

Ionenzerstäuberpumpen blicken auf eine mehr als 50 jährige Geschichte zurück. Das Anwendungsspektrum hat sich in dieser Zeit stark verändert und weist heute einen hohen Spezialisierungsgrad auf. Verschiedene Pumpausführungen bieten für praktisch jede Anwendung die passende Lösung. Die Einführung der Ionenzerstäuberpumpe hat die Vakuumwelt nachträglich beeinflusst.

  • Marcus Thierley
  • Seite 14-17

Firmenporträts

  • Seite 16-21

Magazin

News: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

Großauftrag vom CERN an Oerlikon Leybold Vacuum Messen mit (hauch)dünnen Schichten Neue Impulse aus dem „Reich der Zwerge”︁ Effiziente Techniken zum „Luft ablassen”︁

  • Seite 22-25

Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

Rekordwirkungsgrad von 20,4% für flexible Solarzellen Erhöhte Solarzelleneffizienz durch bessere Oberflächenpassivierung Das Flaggschiff Graphen

  • Seite 26-27

Plasmatechnologie

Hochrateabscheidung mit einem Mikrowellenplasma

Die Entwicklung eines plasmatechnologischen Beschichtungsprozesses für den Kratzschutz auf Kunststoffen am Beispiel von Polycarbonat (PC) muss die Rahmenbedingungen der Großflächigkeit und der Hochrateabscheidung erfüllen. Der Beitrag präsentiert ein plasmatechnologisches Konzept, basierend auf dem skalierbaren Mikrowellenplasmaprinzip der Duo‐Plasmaline, das durch die hohe Plasmadichte eine sehr hohe stationäre...

  • Stefan Merli, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth, Thomas Hirth
  • Seite 33-40

Oberflächenanalytik

Spektralfotometrische Messungen bei 60° Einfallswinkel

Für die Charakterisierung und Qualitätskontrolle optischer Schichten wurde ein VN‐Messeinsatz zur Absolutmessung von Transmission und Reflexion unter 60° Einfallswinkel für s‐ und p‐polarisiertes Licht entwickelt. Da bei den üblicherweise verwendeten kleinen Einfallswinkeln die Polarisation kaum eine Rolle spielt und bei 45° Einfallswinkel die Abeles‐Beziehung gilt, liefert ein Wechsel der Polarisationsrichtung in beiden...

  • Steffen Wilbrandt, Matthias Böhme, Olaf Stenzel, Ralph Schlegel, Norbert Kaiser
  • Seite 42-47

Vakuumanalytik

Sicher zündende, langzeitstabile Kaltkathode

Kaltkathoden werden seit Jahrzenten in verschiedenen Bereichen der Vakuumtechnik verwendet, wo ihre Vorteile trotz magnetischer Streufelder, schlechter Zündcharakteristik im UHV‐Bereich und Langzeitstabilität nicht kritisch oder im Rahmen häufiger Wartungsintervalle praktikabel sind. Selbst dann ist aber oft das Erlöschen der Kaltkathodenentladung im UHV bzw. XHV‐Bereich ein Thema für die Experten. ...

  • Jaroslaw Iwicki, Ivan Pongrac, Patrick Gottschalk, René Bauer, Alexander Schlotter, Michael Flämmich, Ute Bergner
  • Seite 48-51

Plasmaanalyse

Negative ions in reactive magnetron sputtering

Negative ions are present in magnetron sputtering if electronegative elements are involved. The majority of the negative ions impinging on transparent conductive oxide (TCO) films during growth is O− produced at the oxidised target surface while it is rather unimportant whether it is bulk oxide or a surface oxide formed in reactive sputtering. O− bombards the film with energies equivalent to the target voltage and by far exceed 100 eV....

  • Thomas Welzel, Klaus Ellmer
  • Seite 52-56

Magazin

DVG: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

Gaede‐Preis 2013

  • Roland Wiesendanger
  • Seite 57-57

Tagungen: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

Beschichtung, Modifizierung und Charakterisierung von Polymeroberflächen

  • Gerhard Blasek
  • Seite 58-60

Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

  • Seite 61-61

Bezugsquellen: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013

  • Seite 62-66

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Multiphysik-Simulationen in der Automobilindustrie

  • 13. June 2013

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