Vakuum in Forschung und Praxis
Aktuelle Ausgabe - Volume 25 Issue 2 (April/Mai 2013)
Titelbild
Editorial
Nichts verbindet Plasmatechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten?
- Michael Kopnarski
- Seite 3-3
Jubiläum
Time to Say Goodbye
- Johann Scherle
- Seite 5-5
Inhalt
Jubiläum
Die Geschichte der Vakuumtechnik
Ausgehend von ersten Gedanken über die Existenz der Leere und der Verneinung einer solchen wird vom philosophischen Weltbild der Antike der Bogen zur modernen Vakuumtechnik gespannt. Mit den ersten Experimenten im 17. Jahrhundert wurde die Tür zur modernen Vakuumtechnologie aufgestoßen. Ohne die Erkenntnisse, Gesetzmäßigkeiten und Erfindungen, die seitdem auf dem Gebiet der Gaskinetik, Strömungslehre sowie Vakuumerzeugung...
- Heinz Barfuss
- Seite 8-13
Ionenzerstäuberpumpen
Ionenzerstäuberpumpen blicken auf eine mehr als 50 jährige Geschichte zurück. Das Anwendungsspektrum hat sich in dieser Zeit stark verändert und weist heute einen hohen Spezialisierungsgrad auf. Verschiedene Pumpausführungen bieten für praktisch jede Anwendung die passende Lösung. Die Einführung der Ionenzerstäuberpumpe hat die Vakuumwelt nachträglich beeinflusst.
- Marcus Thierley
- Seite 14-17
Firmenporträts
- Seite 16-21
Magazin
News: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013
Großauftrag vom CERN an Oerlikon Leybold Vacuum Messen mit (hauch)dünnen Schichten Neue Impulse aus dem „Reich der Zwerge”︁ Effiziente Techniken zum „Luft ablassen”︁
- Seite 22-25
Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013
Rekordwirkungsgrad von 20,4% für flexible Solarzellen Erhöhte Solarzelleneffizienz durch bessere Oberflächenpassivierung Das Flaggschiff Graphen
- Seite 26-27
Plasmatechnologie
Hochrateabscheidung mit einem Mikrowellenplasma
Die Entwicklung eines plasmatechnologischen Beschichtungsprozesses für den Kratzschutz auf Kunststoffen am Beispiel von Polycarbonat (PC) muss die Rahmenbedingungen der Großflächigkeit und der Hochrateabscheidung erfüllen. Der Beitrag präsentiert ein plasmatechnologisches Konzept, basierend auf dem skalierbaren Mikrowellenplasmaprinzip der Duo‐Plasmaline, das durch die hohe Plasmadichte eine sehr hohe stationäre...
- Stefan Merli, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth, Thomas Hirth
- Seite 33-40
Oberflächenanalytik
Spektralfotometrische Messungen bei 60° Einfallswinkel
Für die Charakterisierung und Qualitätskontrolle optischer Schichten wurde ein VN‐Messeinsatz zur Absolutmessung von Transmission und Reflexion unter 60° Einfallswinkel für s‐ und p‐polarisiertes Licht entwickelt. Da bei den üblicherweise verwendeten kleinen Einfallswinkeln die Polarisation kaum eine Rolle spielt und bei 45° Einfallswinkel die Abeles‐Beziehung gilt, liefert ein Wechsel der Polarisationsrichtung in beiden...
- Steffen Wilbrandt, Matthias Böhme, Olaf Stenzel, Ralph Schlegel, Norbert Kaiser
- Seite 42-47
Vakuumanalytik
Sicher zündende, langzeitstabile Kaltkathode
Kaltkathoden werden seit Jahrzenten in verschiedenen Bereichen der Vakuumtechnik verwendet, wo ihre Vorteile trotz magnetischer Streufelder, schlechter Zündcharakteristik im UHV‐Bereich und Langzeitstabilität nicht kritisch oder im Rahmen häufiger Wartungsintervalle praktikabel sind. Selbst dann ist aber oft das Erlöschen der Kaltkathodenentladung im UHV bzw. XHV‐Bereich ein Thema für die Experten. ...
- Jaroslaw Iwicki, Ivan Pongrac, Patrick Gottschalk, René Bauer, Alexander Schlotter, Michael Flämmich, Ute Bergner
- Seite 48-51
Plasmaanalyse
Negative ions in reactive magnetron sputtering
Negative ions are present in magnetron sputtering if electronegative elements are involved. The majority of the negative ions impinging on transparent conductive oxide (TCO) films during growth is O− produced at the oxidised target surface while it is rather unimportant whether it is bulk oxide or a surface oxide formed in reactive sputtering. O− bombards the film with energies equivalent to the target voltage and by far exceed 100 eV....
- Thomas Welzel, Klaus Ellmer
- Seite 52-56
Magazin
Tagungen: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013
Beschichtung, Modifizierung und Charakterisierung von Polymeroberflächen
- Gerhard Blasek
- Seite 58-60
Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 2/2013
- Seite 61-61
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Produkte des Monats
Webinar
Multiphysik-Simulationen in der Automobilindustrie
- 13. June 2013
In diesem Vortrag werden einige typische Beispiele aus der Automobilindustrie gezeigt, von Li-Ionen-Akkus und Brennstoffzellen bis zu Fertigungsprozessen und Energieeffizienzverbesserungen. Erfahren Sie, wie COMSOL Multiphysics dabei hilft, neue Technologien zu entwickeln, Produkte zu optimieren sowie Kosten und Zeit zu sparen.