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Simulation verdünnter Strömungen im Niederdruckbereich

  • 08. December 2016 14:00 Uhr (MEZ)

Die Simulation von mole­ku­laren Strö­mungen ist nach wie vor eine be­son­dere Heraus­for­de­rung. Die üb­licher­weise ver­wen­deten sta­tis­ti­schen Metho­den (Monte-Carlo-Simula­tio­nen) sind gerade bei geringen Par­ti­kel­geschwin­dig­kei­ten in Va­kuum­sys­te­men un­ge­nau und über­aus re­chen­auf­wän­dig.

Die Simulationsplattform COMSOL Multiphysics verwendet hierfür ein exaktes Verfahren, welches frei von statistischem Rauschen ist. Es sind Strömungsberechnungen in allen Knudsen-Zahl-Bereichen möglich, von der Kontinuumsströmung (Kn kleiner 0.01) bis zur freien Molekularströmung (Kn größer 10). Der große Vorteil von COMSOL ist, dass die Berechnungen mit allen anderen physikalischen Effekten, wie Wärmetransport oder Mechanik, frei koppelbar sind. Anwender berechnen mit COMSOL z.B. Vakuumsysteme in der Halbleiterherstellung und Materialverarbeitung, Massenspektrometer oder Teilchenbeschleuniger.

In diesem Webinar stellen wir Ihnen im Schwerpunkt das Molecular Flow Module von COMSOL Multiphysics vor. In einer Demonstration wird der Workflow von COMSOL anhand eines Ionenimplanter-Modells gezeigt, welches live aufgesetzt wird.

Ihr Referent:

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Phillip Oberdorfer
Comsol Multiphysics GmbH

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Webinar

Einführung in die Simulation von Halbleiter-Bauelementen

  • 30. November 2017

Von Mosfets über LEDs bis zu Wafern – Halb­leiter­bau­elemente sind essen­tielle Bestand­teile moderner Tech­nik in nahezu allen Bran­chen. Die nume­ri­sche Simu­la­tion kann dabei ein wich­ti­ges Hilfs­mit­tel dar­stel­len, um diese Bau­elemen­te in ihrer Funk­tions­weise zu analy­sie­ren und somit deren Kon­zep­tion zu er­leich­tern.

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