Neue Plasmaanlage für Entwicklung photonisch integrierter Chips

  • 04. October 2016

Stärkung des Wissenschaftsraums Ruhr und Know-How-Transfer in KMUs.

Die Universität Duisburg-Essen (UDE) und die Ruhr-Universität Bochum (RUB) bündeln ihre Expertise und werden künftig Silizium-Photonik-Chips herstellen. Diese Photonisch Integrierten Chips – sogenannte PICs – sind wahre Alleskönner und bringen die Kommunikationstechnik ebenso voran wie die Radar-, Sensor- und Messtechnik. Und auch bei den bildgebenden Verfahren in der Medizin sind sie gefragt.

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Abb.: UDE-Techniker Jose Luis Fernández Estévez (l.) und Reimund Tilders (r.) bei der Installation der RUB-Anlage im Zentrum für Halbleitertechnologie und Optoelektronik. (Bild: UDE)


Zum Zweck der Erforschung und Entwicklung der PICs wurde jetzt eine neue Plasmaanlage von Bochum nach Duisburg gebracht. Die Kosten für den Transfer der rund 300.000 Euro teuren RUB-Anlage haben die beiden die Einrichtungen der Universitätsallianz Ruhr (UA Ruhr) gemeinsam gestemmt. Von der Deutschen Forschungsgemeinschaft wurde die Anschaffung des Großgeräts gefördert.

Die neue Plasmaanlage steht nun im Reinraum des Duisburger Zentrums für Halbleitertechnologie und Optoelektronik. Da sie mit bis zu sieben verschiedenen Gasen betrieben werden kann, lassen sich damit unterschiedliche Materialien bearbeiten – zum Beispiel Siliziumoxid und Siliziumnitrid aber auch Galliumarsenid und Indiumphosphid. Sie wird hauptsächlich zu Forschungszwecken genutzt, aber auch für vorkommerzielle Produkte, das heißt für funktionsfähige Prototypen.

„Wir konzentrieren unsere technologischen Ressourcen in den Materialwissenschaften und stärken damit den Wissenschaftsraum Ruhr“, sagen die Photonik-Forscher Prof. Dr. Andreas Stöhr und Prof. Dr. Martin Hofmann. Die hoch entwickelten Produkte können kleine und mittlere Unternehmen später zu einem Bruchteil der bisherigen Kosten einsetzen. Denn die Wissenschaftler geben ihr Know-how weiter, was die Herstellungskosten senkt und neue Anwendungsfelder für PICs erschließt, z.B. für hochauflösende miniaturisierte Radarsysteme oder zur spektroskopischen Identifizierung von Materialien.

Seit 2007 arbeiten die drei Ruhrgebietsuniversitäten Bochum, Duisburg und Essen unter dem Dach der Universitätsallianz Ruhr (UA Ruhr) strategisch eng zusammen und bauen die Leistungen der Partneruniversitäten systematisch aus. Unter dem Motto „gemeinsam besser“ gibt es inzwischen über 100 Kooperationen in Forschung, Lehre und Verwaltung. Mit mehr als 115.000 Studierenden und nahezu 1.300 Professor/innen gehört die UA Ruhr zu den größten und leistungsstärksten Wissenschaftsstandorten Deutschlands.

UDE / LK

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  • 30. November 2017

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