Saubere Sache!

  • 23. June 2015

Vakuuminduzierte Desorption weist filmische Verunreinigungen nach.

Auf der Fachmesse parts2clean in Stuttgart vergab das Fraunhofer-IPA Anfang Juni zum dritten Mal den Reinheitstechnik-Preis „CLEAN!“, um herausragende Entwicklungen der Branche zu ehren. Dabei wurde unter anderem das Reinheitsmesssystem Vidam der Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH ausgezeichnet. Dr. Michael Flämmich, Leiter der F & E Abteilung des Jenaer Unternehmens stellte die neue Entwicklung dem Fachpublikum vor und nahm den Preis von den Experten und Juroren Dr. Lothar Gail und Prof. Arnold Brunne entgegen.

IMAGE

Abb.: Dr. Michael Flämmich, F&E-Leiter bei Vacom, nimmt den Fraunhofer Reinheitstechnik-Preis "CLEAN! 2015" entgegennehmen. (Bild: Vacom)

In vielen Industriezweigen ist Sauberkeit ein wichtiges Qualitätsmerkmal für reproduzierbare Prozesse. Die Kenntnis der Sauberkeit von Bauteilen ist eine Grundvoraussetzung, um die Wirksamkeit und Effizienz des Reinigungsprozesses bewerten und somit eine hohe und stabile Qualität des Endproduktes garantieren zu können. Vidam weist filmische Verunreinigungen integral – also auf der gesamten Bauteiloberfläche – vollautomatisch nach. Durch das spektrale Messverfahren können Verunreinigungen auf der Oberfläche eindeutig identifiziert und deren Ursachen zugeordnet werden. Darüber hinaus liefert Vidam absolute, quantitative Messwerte, welche die Festlegung zweckmäßiger Grenzwerte ermöglichen. Damit kann der Fertigungs- und Reinigungsprozess so optimiert werden, dass eine hinreichende Bauteilsauberkeit für alle nachfolgenden Prozesse gewährleistet ist. Dies ist die Grundvoraussetzung für kontrollierbare, reproduzierbare und garantierte Qualität.

Dr. Lothar Gail lobt in seiner Laudatio: „Die Messung luftgetragener Partikel mittels Streulicht hat die Entwicklung der modernen Reinraumtechnik maßgeblich vorangetragen. Für filmartige Kontaminationen, die in der Reinraumtechnik keine geringere Rolle spielen, existieren bislang keine vergleichbaren Standards. Je strenger die Reinheitsanforderungen, umso vielfältiger ist die Zahl möglicher störender Wechselwirkungen, die Kontaminationen verursachen. Das vorgestellte Vidam-Verfahren kann daher als wichtiger Fortschritt gewertet werden, um von der Fehlersuche über die Prozesskontrolle bis hin zur Eingangskontrolle von Materialien ein breites Spektrum der Erfordernisse der Kontaminationskontrolle abzudecken.“

IPA / Vacom / LK

Share |

Bestellen

Zeitschrift abonnieren: Abonnenten-Service

Webinar

Einführung in die Simulation von Halbleiter-Bauelementen

  • 30. November 2017

Von Mosfets über LEDs bis zu Wafern – Halb­leiter­bau­elemente sind essen­tielle Bestand­teile moderner Tech­nik in nahezu allen Bran­chen. Die nume­ri­sche Simu­la­tion kann dabei ein wich­ti­ges Hilfs­mit­tel dar­stel­len, um diese Bau­elemen­te in ihrer Funk­tions­weise zu analy­sie­ren und somit deren Kon­zep­tion zu er­leich­tern.

Alle Webinare »

Site Login

Bitte einloggen

Andere Optionen Login

Website Footer