Plasma im Fokus der Industrieforschung

  • 06. July 2017

Inline Charakterisierung und Kontrolle der optischen Eigenschaften hochflexibler optischer Präzisionsschichten.

Als einer von neun Partnern des nun abgeschlossenen BMBF-geförderten Verbund­vorhabens zur „Erfor­schung hoch­flexi­bler optischer Präzisions­schichten auf Polymer­oberflächen (FlexCoPlas)“ stellte die Sentech Instruments GmbH ihre im Projekt erar­beiteten Ergeb­nisse vor.

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Abb.: Das im FlexCoPlas-Verbundprojekt entwicklelte Gerät zur Transmissionsmessung an Folien und Linsen. (Bild: Sentech)

So wurde zum einen ein optisches Breit­band­monitoring mit adaptiver Strategie entwickelt, welches auf der in situ Trans­missions­mes­sung basiert. Dieses arbeitet mit adaptiven Strategien während der Ab­schei­dung zur Bestim­mung aktueller Dicken und zur Berech­nung und Signali­sie­rung der Abschaltpunkte der aktuellen Teil­schicht. Weiterhin können Schichtänderungen des bereits abge­schie­denen Stapels (Kompaktierung, Brech­zahl­änderung) betrachtet werden, auch ist der Abgleich mit Schwing­quarz­daten bei Ver­fügbar­keit erweiterbar, um die Design­korrektur für Ziel­spektren zu ermöglichen. Es können nun mehr als zehn Schichten ausge­wertet werden. Vor allem ist die bei größeren Gesamt­schicht­dicken relevante Brech­zahl­drift im Material besser auszu­gleichen. Anwen­dungen finden sich hier unter anderem im Bereich von höher­wertigen Filte­rschichten, bei denen es auf genaue Kanten­lagen und Trans­missions­werte ankommt.

Zum andere entwickelte Sentech ein Gerät für Transmissions­messungen an Folien und Linsen. Bei der Ver­mes­sung von Folien sind Lage, Wöl­bungen, Wellen, Ver­span­nungen und Mikro­strukturen, wie man sie auch von der Haus­halts­folie kennt, für die klassische Trans­missions­technik störend. Der Sentech Messkopf beseitigt diese Nach­teile für Mes­sungen im Bereich 380 bis 2000 Nano­meter und kann sogar alle Arten von Folien in Trans­mission vermessen. Der Messkopf ist sowohl als Desktop­gerät als auch für die in line Messung von z.B. Roll-­to-­Roll Anwen­dungen einsetzbar. Eine weitere Anwen­dung der hohen Lage­toleranz ist die Ver­messung der Trans­mission von Linsen, bei denen die Krüm­mung durch den breiten Fang­bereich kompen­siert wird. Damit können z.B. Ent­spie­ge­lungen einfach kontrol­liert werden.

Sentech plasmagestützte Ätz- und Beschich­tungs­anlagen sowie Anlagen zur Atomlagen­abscheidung unter­stützen modernste Pro­zesse und Anwen­dungen für die Herstel­lung von Nano­strukturen in Forschung, Ent­wick­lung und dem industriellen Umfeld. Schädigungs­freie Be­ar­bei­tung von Halbleiter­materialien und Abscheidung von dünnen Barriere- und Passi­vierungs­schichten bei Tempe­raturen unterhalb 100 Grad Celsius zeichnen Sentech Anlagen aus.

Insgesamt neun Unter­nehmen und Forschungs­einrichtungen waren an dem Projekt beteiligt, das vom Bunde­sministerium für Bildung und Forschung BMBF mit insgesamt 2,64 Millionen Euro im Rahmen der Photonik Forschung Deutschland – Förder­initiative „Innovative Anwen­dungen der Plasma­technik“ gefördert wurde.

Sentech / LK

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