Optik-Beschichtungen im Sub-Nanometerbereich

  • 17. January 2017

Thementage Grenz- und Oberflächentechnik geben Impulse für den Mittelstand.

Vakuumbeschichtungen sind 75 Jahre nach ihrer Einführung in die industrielle Praxis zur Schlüsseltechnologie geworden. Die Methoden zur ultrapräzisen Einstellung optischer Oberflächeneigenschaften mit Sub-Nanometergenauigkeit fördern heute entscheidend die globale Wettbewerbsfähigkeit deutscher Unternehmen. Neue Trends sowie Anregungen für den Mittelstand verspricht eine Transfertagung in Zeulenroda.

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Abb.: Beschichtung von Spiegeln mittels Magnetronsputtern. (Bild: IOF)

Sowohl die Erweiterung der Optikpalette zu kürzeren Wellenlängen als auch die enorm gestiegenen Anforderungen an Optikkomponenten aller Spektralbereiche bewirken aus Sicht von Prof. Dr. Norbert Kaiser, Stellvertretender Institutsleiter des Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena, erhöhte Anforderungen an Formtreue und Rauheit von Substratoberflächen sowie Qualität und Stabilität beschichteter optischer Komponenten „als Voraussetzungen für extrem hohe Wertschöpfungsfaktoren und Basis für Neuentwicklungen“.

Wissenschaftler und Ingenieure zwischen Jena und Jülich arbeiten deshalb intensiv am Forschungsvorlauf für neue Produkte und Verfahren. Eine Tagung im thüringischen Zeulenroda informiert Mitte März Entwickler und Innovationsstrategen u. a. mit Blick auf Chip-Herstellung, Anlagen- und Gerätebau. Dr. Torsten Feigl, Geschäftsführer der optiX fab in Jena, wird über aktuelle Ergebnisse bei der Nutzung weicher Röntgenstrahlung für biologische und medizinische Anwendungen berichten. Sein Unternehmen entwickelt und vertreibt Optiken für die Mikroskopie im „Wasserfenster“, einem speziellen Spektralbereich zwischen 2,3 und 4,4 Nanometern, bei dem Wasser hohe Transparenz aufweist und der sich dadurch zur Mikroskopie von Zellstrukturen in ihrer natürlichen Umgebung eignet.

Zu den rund 20 Referenten gehört auch Dr. Peter Frach vom Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) in Dresden stellt Technik und Technologie zur Herstellung definiert gradierter Schichtsysteme vor. Schichten mit Gradienten in Schichtwachstumsrichtung weisen eine deutlich höhere Laserzerstörschwelle gegenüber gleichwertigen Multilagen-Schichtsystemen auf. Laterale Gradientschichten sind z.B. für Filter in Hyperspektralkameras, für Linsenbeschichtungen oder die Abscheidung von Polierschichten auf Komponenten der EUV-Lithographie für immer kleinere, schnellere und günstigere Schaltkreise nutzbar.
Dr. Marcel Schulze von der Berliner Sentech Instruments erläutert, wie sich entspiegelte Oberflächen auch in Laseranwendungen erzielen lassen, die nicht degradieren oder abplatzen und wie dank Plasmaverfahren auch „klassische Oberflächen“ wie Beugungs- und Kompressorgitter hochpräzise und effizient erzeugt werden können.

Das Kolloquium Dünne Schichten in der Optik findet im Rahmen der 12. ThGOT Thementage Grenz- und Oberflächentechnik statt, die Mittelständlern aus dem gesamten Bundesgebiet eine Vielzahl Oberflächentechnik-Trends vermitteln. Fraunhofer UMSICHT aus Oberhausen schildert etwa, wie verfahrenstechnische Bauteile mittels Laser-Oberflächenstrukturierung optimiert werden können. Ein Laser-Mikrotechnologe aus Berlin will die Tagungsteilnehmer mit der Laser-Hybridbearbeitung von Oberflächen vertraut machen.

Innovent / LK

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