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Interferometrische Positionsregelung für Mehrachssysteme

Angebot: Neue hochpräzise Lösungen zur interferometrischen Messung komplexer mechanischer Systeme. Zentraler Baustein ist das Modul "PICOSCALE", ein kompaktes Michelson-Interferometer, das Verschiebungsmessungen mit Sub-Nanometerauflösung ermöglicht.
Merkmale: Bei hochpräzisen Fertigungsprozessen gewinnt die Kompensation geometrischer Fehler für komplexe Mechaniken zunehmend an Bedeutung. Angepasst auf die Anwendung kann das "PICOSCALE" mithilfe von interferometrischen Sensorköpfen den lateralen Versatz, auftretende Winkelfehler und die Orthogonalität von Bewegungssystemen mit mehreren Freiheitsgraden vermessen. Die Messung kann zur Kalibrierung dienen, um Korrekturtabellen zu erfassen. Das System kann aber auch Bewegungsfehler direkt messen, um diese aktiv ausregeln zu können. Außerdem lassen Vibrationen in den verschiedenen Freiheitsgraden mit bis zu 2,5 MHz messen. Die Funktionen und das Zubehör werden stetig weiterentwickelt und können flexibel mit Positioniertechnik von SmarAct zu hochpräzisen Komplettlösungen kombiniert werden. Die verschiedenen Schnittstellen der Steuergeräte vereinfachen die Integration der Komponenten in bestehende Labor- und Produktionsumgebungen. –
SmarAct entwickelt leistungsstarke Linearpositionierer und komplexe Parallelkinematiken und anspruchsvolle Messtechnik auf Basis von Laserinterferometern.

Kontakt:

SmarAct GmbH
Schütte-Lanz-Straße 9
26135 Oldenburg
Tel.: +49 (0)441 800879-0
Fax: +49 (0)441 800879-21
info-de@smaract.com
www.smaract.com

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