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Vibrometer für MEMS

Angebot: "PICOSCAN"-Vibrometer, eine Turnkey-Lösung für Entwickler, das die Schwingungsanalyse kleiner Bauteile und MEMS mit einer Auflösung bis in den Sub-Pikometer-Bereich erlaubt. Mit dem piezobasierten Probentisch lassen sich die Bauteile mechanisch anregen. Das konfokale Messprinzip ermöglicht dabei auch Messungen an verborgenen Bauteilen, die sich unter Glasfenstern oder Siliziumabdeckungen befinden.
Merkmale: Das Vibrometer rastert mit einem fokussierten Laserstrahl im nahinfraroten Bereich Bauteile bis zu einer Größe von 2 cm × 2 cm ab. Dabei wird das mechanische Schwingungsverhalten für frei wählbare Frequenzen bis 2,5 MHz gemessen. Die Bauteile werden dabei entweder elektrisch durch den Signalgenerator oder mechanisch über den mitgelieferten Probentisch aktiv angeregt. In Verbindung mit dem digitalen Lock-In-Verstärker lassen sich Amplitude und Phase für jeden Ort einzeln vermessen. Die Software rekonstruiert anschließend die Schwingungsmoden des Bauteils und bereitet diese grafisch auf. Eine weitere Besonderheit des Vibrometers besteht darin, dass mit dem Laserstrahl gleichzeitig ein konfokales Reflexionsbild mit einer lateralen Auflösung von 5 μm aufgenommen wird, was ein normalerweise notwendiges separates Mikroskop überflüssig macht. Die kompakten Maße des Laserscanners erlauben den Einsatz an vielen Orten; die Befestigung ist in beliebiger Orientierung an gängigen 1"-Posts möglich.

Kontakt:

SmarAct GmbH
Schütte-Lanz-Straße 9
26135 Oldenburg
Tel.: +49 (0)441 800879-0
Fax: +49 (0)441 800879-21
info@smaract.com
www.smaract.com

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