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Justage mit piezobasierten "Unterlegscheiben"

  • Hersteller: Physik Instrumente (PI).

Angebot: Piezobasierte "Unterlegscheiben" (sogenannte Active Shims "PI Rest") für die Justage mit Nanometerauflösung und Langzeitstabilität innerhalb von Präzisionsmaschinen z. B. für die Halbleiterfertigung, für Metrologieanwendungen oder für Inspektionssysteme.
Hintergrund: Ändert sich in bestimmten Präzisionsmaschinen ein Soll- oder Ist-Maß zwischen zwei Komponenten, kann es erforderlich sein, dieses nachzujustieren. Das ist dann der Fall, wenn die Maschine beim Anwender in Betrieb geht und erstmaliges Setzen nach der Installation, Driften oder Toleranzveränderungen auszugleichen sind. Klassische, auf genaue Abstände geschliffene Unterlegscheiben haben hier den Nachteil, dass sie mechanisch eingefügt werden müssen. Außerdem ist diese Justierung nicht beliebig fein möglich, und das einmal festgelegte Maß lässt sich nur schwer nachträglich ändern.
Merkmale: Die neu entwickelten piezobasierten "Unterlegscheiben" helfen, den Abstand zwischen zwei Bauteilen jederzeit mit Nanometergenauigkeit nachjustieren. Die "active Shims" sind in nahezu beliebigen Formen und Größen erhältlich und werden bereits bei der Konstruktion einer Maschine eingebaut. Der statische Abstand lässt sich durch Anlegen einer Versorgungsspannung am Aktor einstellen; für diesen Justageprozess wird eine einfach zu verwendende Spannungsversorgung mit der passenden Ansteuerung angeboten. Die gewünschte Position wird nach dem Justieren dann ohne Spannung langzeitstabil gehalten, und die Spannungsversorgung kann entfernt werden.

Kontakt:

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Römerstr. 1
76228 Karlsruhe
Tel.: +49 (0)721 4846-0
Fax: +49 (0)721 4846-1019
info@pi.de
www.pi.de

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