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FIB-SEM-Nanostrukturierung und Probenpräparation

Angebot: "VELION" – Fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB) mit Rasterelektronenmikroskop (SEM) für Nanostrukturierung im F&E Bereich.
Merkmale: Aus der Kombination von FIB-Techniken mit den Stärken einer Lithographie-Plattform wie höchste Präzision und Stabilität ergeben sich neue und einzigartige Möglichkeiten in der FuE-Nanofabrikation. Strukturierungen direkt und ohne Resist, 3-dimensional, auf komplexen Proben und mit weniger Prozessschritten erlauben ganz neue Ansätze und erzielen schneller wissenschaftliche Ergebnisse. Das FIB als primäre Technik wird mit einer SEM-Säule durch In-situ-Inspektion bei der Parameteroptimierung unterstützt, wodurch zudem auch Probenpräparation wie TEM-Lamellen und ähnliche Prozesse durchgeführt werden können. Als besondere Stärke bietet die laserinterferometrisch gesteuerte Probenbühne einzigartige Präzisionseigenschaften auf Nanometerskala. Komplexe mehrlagige Prozesse, Aneinandersetzen von Schreibfeldern sowie kontinuierliche Strukturierungen von Flächen über die Säulenablenkung hinaus sind dadurch möglich. Die von Raith selbst entwickelte FIB-Technologie ermöglicht höchste Auflösung des Gallium-Ionenstrahls, zusätzlich sind Gold-, Silizium-, Germanium- und andere Ionenstrahlen optional verfügbar. Zahlreiche Komponenten wie Gasinjektionssysteme, Nanomanipulatoren oder andere Lösungen zur Probenbühne erhöhen die Vielseitigkeit dieses FIB-SEM Systems und ermöglichen zusätzlich noch Gas-unterstütztes In-situ-Ätzen und -Deponieren, elektrisches Probing, Nanoprofilometrie und vieles mehr.
Anwendungen: Vielfältige Anwendungen im Bereich der FuE-Nanofabrikation, gerade wenn Teststrukturen und komplexe Prototypen in neuen Materialien oder Prozessen hergestellt werden sollen. Anwendungen in allen aktuellen Forschungsbereichen wie Nanoelektronik, Photonik, Plasmonik, Fluidik, Sensoren, NEMS/ MEMS, Nanobiotechnologie sowie Nanoröhrchen und 2D-Materialen können damit bedient werden. Auch neuartige Aufgaben wie lokale Funktionalisierung oder Ionenimplantation mit Nanometer-Genauigkeit und feinster Dosiskontrolle sind möglich. Neben der Nanofabrikation kann das Gerät zudem für wichtige Mikroskopie-Anwendungen wie Metrologie, Querschnittsuntersuchungen und TEM-Lamellenpräparation durch SEM-Inspektion eingesetzt werden.

Kontakt:

Raith GmbH
Konrad-Adenauer-Allee 8
44263 Dortmund
Tel.: +49 (0)231 95004-0
Fax: +49 (0)231 95004-460
sales@raith.com
www.raith.com

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