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Korrelative Sonden- und Elektronenmikroskopie

Angebot: Rastersondenmikroskop (SPM) "LiteScope", das sich einfach in verschiedene Rasterelektronenmikroskope (REM) integrieren lässt und ihren Leistungsumfang erweitert. Die Verknüpfung der komplementären SPM- und REM-Techniken ermöglicht es, die Vorteile beider zu nutzen. Das System ist besonders dann effektiv, wenn konventionelle REM-Techniken keine ausreichende Information über die Probe liefern und eine zusätzliche 3D-Bildgebung erforderlich ist.
Merkmale: Das System eröffnet ein völlig neues Gebiet der Mikroskopie, die korrelative Sonden- und Elektronenmikroskopie (CPEM, Correlative Probe and Electron Microscopy). Damit lassen sich sowohl SPM- als auch REM-Messungen simultan an derselben Probenstelle und unter Verwendung desselben Koordinatensystems durchführen. CPEM synchronisiert den gescannten Bereich und die Auflösung und korreliert die erfassten SPM- und REM-Bilder in Echtzeit. Das ermöglicht eine komplexe Probenanalyse, einschließlich der Charakterisierung der Oberflächentopographie, der mechanischen, elektrischen und magnetischen Eigenschaften oder der chemischen Zusammensetzung.
Das Design des "LiteScope" lässt auch die Kombination mit einem fokussierten Ionenstrahl (FIB) oder einem Gasinjektionssystem (GIS) zur Herstellung von Nano-bzw. Mikrostrukturen und Oberflächenmodifikationen zu. In dieser Kombination bietet es eine schnelle und einfache 3D-Analyse der gefertigten Strukturen.

Kontakt:

Schaefer Technologie GmbH
Robert-Bosch-Straße 31
63225 Langen
Tel.: +49 (0)6103 30098-0
Fax: +49 (0)6103 30098-29
info@schaefer-tec.com
www.schaefer-tec.com

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