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Neuartiger optischer Gassensor zur Prozessüberwachung und Lecksuche

  • Hersteller: Gencoa.

Angebot: Optischer Gassensor "OPTIX", der ein eigenes Plasma im Sensorkopf zündet und die darin enthaltenen Gase mittels eines eingebauten optischen Spektrometers analysiert. Die Signalpeaks im Spektrum werden von der mitgelieferten Back-End-Software automatisch erkannt und die zugehörigen Atome oder Moleküle leicht verständlich grafisch dargestellt. Da zum Betrieb an einer Anlage lediglich ein freier KF25-Anschluss benötigt wird, eignet sich der Gassensor auch als mobiles Messgerät für Serviceeinsätze.
Merkmale: Der Gassensor kann für beliebige Vakuum- und Beschichtungsprozesse verwendet werden, da er in einem Druckbereich zwischen 0,5 mbar und 1·10-6 mbar zuverlässig arbeitet. Im Gegensatz zu Messungen mit RGA-Geräten ist hierfür kein differenzielles Pumpen nötig. Aufgrund des weiten Arbeitsdruckbereichs lassen sich mit dem Gassensor nicht nur Abpumpprozesse und Vakuumprozesse überwachen, sondern auch Lecks jeglicher Art detektieren. Für eine schnelle Lecksuche wird Helium sehr gut erkannt (mit einer Leckrate bis 1·10-6 mbar/l/s), selbst Argon kann anstelle von Helium verwendet werden. Dabei zeigen Stickstoff-Peaks im analysierten Spektrum z. B. ein Luftleck an, während CH/CO/CO2-Peaks auf Rückströmungen von Pumpen hinweisen; die Sensibilität beträgt dort 50 ppm bei 1·10-2 mbar. Der Gassensor ist einfach über die Software zu bedienen. Zum Eingriff in die Prozesssteuerung über Triggerpunkte in der Software stehen mehrere digitale Ausgänge sowie eine Profibus-Schnittstelle zur Verfügung. – Eine weitere Einsatzmöglichkeit ist die Lecksuche unter Atmosphärenbedingung. Hierbei wird der Gassensor an eine Vorvakuumpumpe angeschlossen und kann dann Bestandteile aus der Atmosphäre registrieren und analysieren. Dazu gehören auch Lösemittel, Flüssigkeiten oder Gase in Glovebox-Umgebungen.

Kontakt:

BeamTec GmbH
Science Park III
Wolfgang-Paul-Straße 4
89081 Ulm
Tel.: +49 (0)731 146620-0
Fax: +49 (0)731 146620-99
info@beamtec.de
www.beamtec.de

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