Gut und günstig navigieren

  • 02. April 2015

Neues Fertigungsverfahren für zweidimensionale Magnetsensoren.

Wo musste man noch gleich entlang laufen? Hier rechts – oder doch erst die nächste Abzweigung? Ein Blick auf das Smartphone hilft weiter: Verschiedene Apps blenden Straßen­karten ein und drehen die Karte passend zur Himmels­richtung, sie norden sie ein. Ähnlich „schlau“ sind Navigations­geräte: Auch sie zeigen die richtige Richtung bereits an, bevor das Auto sich in Gang gesetzt hat. Möglich macht dies ein Magnetsensor. Er ermittelt, wie das Gerät zum Erd­magnet­feld steht. Der Markt ist heiß umkämpft: Beim Preis der Sensoren zählt jeder Cent. Die Hersteller setzen daher bislang auf mehrere günstige eindimensionale Sensoren. Der Nachteil: Sie sind weniger empfindlich und arbeiten nicht so präzise wie zwei­dimensionale Modelle.

Abb.: Blick von oben auf den Prototyp eines zweidimensionalen Magnetsensors (Bild: Fh.-ENAS)

Abb.: Blick von oben auf den Prototyp eines zweidimensionalen Magnetsensors (Bild: Fh.-ENAS)

Künftig könnten jedoch auch kompakte zweidimensionale Sensoren den Weg in die Smartphones finden. Forscher vom Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano­systeme ENAS in Chemnitz haben das entsprechende Herstellungsverfahren optimiert. „Die Kosten und die Herstellungszeit der zweidimensionalen Magnet­feld­sensoren fallen um die Hälfte“, sagt Olaf Ueberschär, Gruppenleiter am ENAS.

Der Grund für diesen Kostensturz liegt in der Produktionsweise: Die Wissenschaftler fertigen die Sensoren aus einem Materialstück – und damit gänzlich anders als bisher. Denn schon für einen eindimensionalen Sensor braucht man zwei mikroelektronische Halbbrücken, deren eingeprägte Magnetfelder in entgegen­gesetzte Richtungen zeigen. Da die Ausgangs­materialien eine Magnetisierungs­richtung vorgeben, das Magnetfeld in ihnen also bereits ausgerichtet ist, musste man bislang zwei verschiedene Materialstücke zusammensetzen – eine aufwändige und somit teure Angelegenheit. Für zweidimensionale Sensoren brauchte es zwei solcher Halb­brücken beziehungsweise vier Material­stücke.

„Wir können sowohl die Vollbrücken als auch die zweidimensionalen Sensoren erstmals monolithisch – aus einem Stück – herstellen“, so Ueberschär. Dazu scheiden die Forscher auf einem Wafer ein Schichtmaterial ab und ätzen die gewünschte Struktur heraus. Der Clou liegt in der anschließenden Laser­bearbeitung: Mit ihm können die Wissenschaftler die magnetischen Vorzugs­richtungen nach Belieben einstellen.

Ein weiterer Vorteil: Der neue Sensor füllt nicht einmal einen Quadratmillimeter und ist damit nur etwa halb so groß wie bisherige Modelle. Je kleiner, desto mehr Anwendungen kommen für die Minichips in Frage. Beispiels­weise bei Magnet­feld­kameras, in denen sich zahlreiche Sensoren in mehreren Zeilen und Spalten befinden und Magnetdaten aufnehmen. Will man eine hohe Auflösung erreichen, müssen die Sensoren möglichst klein sein – nur so passen sie dicht nebeneinander und stören sich nicht gegenseitig.

Die Magnetsensorik ist nicht auf Smartphones beschränkt. Vielmehr kommt sie überall dort zum Einsatz, wo unwirtliche Umgebungs­bedingungen herrschen und andere Messverfahren versagen würden – etwa in Flüssigkeiten oder heißen Ölbädern. Auch im Auto sind sie zu finden, zum Beispiel in vollelektronischen Schalthebeln, wie sie bei neueren Fahrzeugen in der Mittel­konsole oder am Lenkrad eingebaut sind. Und in der medizinischen Diagnostik spüren sie Tropenkrankheiten sowie andere Viren und Bakterien auf.

Prototypen der zweidimensionalen Sensoren stellen die Experten auf der Messe Sensor + Test vom 19. bis 21. Mai 2015 in Nürnberg vor (Halle 12, Stand 12-531 / 12-537). Bis sich die Sensoren tatsächlich in Produkten einsetzen lassen, wird es allerdings noch etwa ein Jahr dauern.

Fh.-ENAS / DE

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