Effizienter beschichten

  • 20. January 2015

Laser Zentrum Hannover und PhotonicNet richten gemeinsamen Workshop zu Dünnschichttechnik aus.

Am 25. Februar 2015 richtet das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) zusammen mit dem Kompetenznetz PhotonicNet einen Workshop zur Simulation in der Dünnschichttechnik aus. Modellbasierte Optimierungsverfahren ermöglichen kosteneffiziente und bedarfsgerechte Abstimmung der Funktionsschichten auf das Produkt. Der Workshop fasst hierzu den Stand der Forschung zusammen und soll Impulse für den Transfer in die Praxis setzen.

Abb.: Mit molekulardynamischen Verfahren simulierte Struktur einer TiO2-Schicht (150.000 Atome), die mit einem thermischen Verfahren auf ein Substrat mit einem Partikeldefekt deponiert wurde. (Bild: LZH)

Abb.: Mit molekulardynamischen Verfahren simulierte Struktur einer TiO2-Schicht (150.000 Atome), die mit einem thermischen Verfahren auf ein Substrat mit einem Partikeldefekt deponiert wurde. (Bild: LZH)

Moderne Beschichtungsverfahren zählen zu den wichtigsten Schlüsseltechnologien in Industrie und Forschung. So ist beispielsweise in der Photonik kaum ein Produkt zu finden, das keine optischen Funktionsschichten enthält. Der Trend geht zu anspruchsvollen optischen Systemen mit vielen, auf kleinstem Raum angeordneten Elementen sowie Lasersystemen mit immer größeren Ausgangsleistungen. Die Anforderungen an die Herstellung solcher Funktionsschichten steigen dabei stetig.

In der optischen Dünnschichttechnologie beruhten entsprechende Lösungsstrategien über Jahrzehnte hinweg auf kleinen technischen Iterationsschritten, die immer wieder die notwendigen Qualitätsverbesserungen erbrachten. Auch vor dem Hintergrund des Trends zu einem hohen Diversifizierungsgrad der Produkte und der damit einhergehenden enormen Flexibilisierung der Beschichtungsverfahren stößt man mittlerweile jedoch an die Grenzen dieser einfachen, aber dennoch sehr aufwendigen empirischen Anpassungstechniken.

Notwendig ist hier nunmehr ein strategisches Umdenken hin zu modellbasierten Optimierungsverfahren, die auf der Grundlage von Simulationen der einzelnen Fertigungsphasen eine kosteneffiziente und bedarfsgerechte Abstimmung der Funktionsschichten auf das Produkt ermöglichen.

LZH / DE

Share |

Webinar

Einführung in die Simulation von Halbleiter-Bauelementen

  • 30. November 2017

Von Mosfets über LEDs bis zu Wafern – Halb­leiter­bau­elemente sind essen­tielle Bestand­teile moderner Tech­nik in nahezu allen Bran­chen. Die nume­ri­sche Simu­la­tion kann dabei ein wich­ti­ges Hilfs­mit­tel dar­stel­len, um diese Bau­elemen­te in ihrer Funk­tions­weise zu analy­sie­ren und somit deren Kon­zep­tion zu er­leich­tern.

Alle Webinare »

Site Login

Bitte einloggen

Andere Optionen Login

Website Footer