Grundsteinlegung für Nanoelektronik-Labor

  • 02. September 2011

Auf dem Campus des Forschungszentrums Jülich wurde heute der Grundstein für die Helmholtz Nanoelectronic Facility gelegt.

Die Fertigstellung des Hightechlabors ist für das Jahr 2013 geplant. Die Helmholtz Nanoelectronic Facility (HNF) hat dann eine Reinraumfläche von rund 1000 Quadratmetern und ermöglicht den Forschern die Entwicklung neuer Materialien, Prozesse und Strukturen im Nanometerbereich.

Thomas Rachel (Mitte), MdB, Parlamentarischer Staatssekretär im BMBF versenkt zusammen mit Karl-Heinz Krems (l.), Leitender Ministerialrat im MIWF und dem Jülicher Vorstandsvorsitzenden Achim Bachem eine Zeitkapsel bei der Grundsteinlegung

Abb.: Thomas Rachel (Mitte), MdB, Parlamentarischer Staatssekretär im BMBF versenkt zusammen mit Karl-Heinz Krems (l.), Leitender Ministerialrat im MIWF und dem Jülicher Vorstandsvorsitzenden Achim Bachem eine Zeitkapsel bei der Grundsteinlegung. (Bild: FZ Jülich)

Jülicher Forscher wollen mit der HNF die bewährte Siliziumtechnologie bis an die Grenze des physikalisch Machbaren weiterentwickeln. Darüber hinaus sollen darin auch neuartige, zukunftsweisende Schaltungen getestet werden, die auf anderen Materialien und Prinzipien aufbauen – auf neu entdeckten Oxiden etwa, dem Elektronenspin oder Schnittstellen zu lebenden Zellen. Diese könnten neue Anwendungen ermöglichen, etwa effiziente Chips für den Null-Watt-PC, nicht-flüchtige Computerspeicher oder innovative Lösungen und Sensoren aus der Verknüpfung von Biologie und Elektronik.

Die HNF wird zu 90 Prozent durch das BMBF und zu 10 Prozent durch das Ministerium für Innovation, Wissenschaft und Forschung des Landes Nordrhein-Westfalen (MIWF) mit rund 25 Millionen Euro aus Mitteln der Helmholtz-Gemeinschaft finanziert – 11,65 Millionen fließen in das Gebäude, weitere 13,8 Millionen Euro in wissenschaftliche Anlagen und Betriebstechnik. In den Reinräumen werden unter anderem Geräte zur Belichtung, Reinigung und Kontrolle von Wafern installiert. Die Ausstattung umfasst außerdem ein sogenanntes Epitaxie- und Nanofabrikationscluster und macht das Labor zu einer europaweit einzigartigen Einrichtung. Das Cluster wird als zusammenhängende Einrichtung auf einer Fläche von sechs mal fünfzehn Metern angelegt, auf der zunächst künstliche Kristallstrukturen erzeugt und anschließend Schaltkreise im Nanometermaßstab erstellt werden können.

Eine besondere Rolle wird in diesem Zusammenhang die enge Partnerschaft zur RWTH Aachen im Rahmen der Jülich Aachen Research Alliance (Jara) spielen. Hier werden die Kompetenzen der Partner in Lehre und Forschung gebündelt, um gemeinsam die Zukunft zu gestalten und die Fundamente der zukünftigen Informationsverarbeitung zu legen.

FZ Jülich / OD

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