Ölfrei - ist das alles?

  • 21. June 2011

Mechanische Vorpumpen optimieren die Leistungsfähigkeit von Ultrahochvakuumsystemen.

Die Leistungsfähigkeit der Vakuumsysteme in Beschleunigerlaboratorien ist durch die Ausrüstung mit gasbindenden Ultrahochvakuumpumpen bestimmt. Solche Systeme bestehen typischerweise aus einer Kombination von Ionengetter- mit Titansublimationspumpen. In Ergänzung dazu kommen verstärkt NEG-Pumpen (Non Evaporable Getter, NEG) zum Einsatz sowie NEG-Beschichtungen an den Kammerwänden. Die genannten Pumpentypen sind für den Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuum vorgesehen. Zum Anpumpen des Vakuumsystems und als Vorvakuumpumpen dienen meist mobile Kombinationen aus Turbomolekular- und mechanischen Verdrängerpumpen. Dabei stellen das Hochvakuumsystem sowie der Betrieb des Beschleunigers Anforderungen an die mechanischen Vorpumpen, die in diesem Artikel beleuchtet werden.


Die geforderte Anlagenverfügbarkeit eines Beschleunigers stellt hohe Anforderungen an die eingesetzten Pumpsysteme. Während der Inbetriebnahme eines Beschleunigersystems beträgt die Betriebsdauer einige Wochen zwischen Wartungs- und Installationsarbeiten; der Dauerbetrieb sollte jedoch möglichst langfristig und ohne ungeplante Ausfälle möglich sein. Die zeitlichen Vorstellungen der Betreiber liegen dabei bei etwa 30 Jahren Betriebsdauer und einem Einsatz rund um die Uhr, 24 Stunden am Tag, 7 Tage die Woche, mit möglichst wenigen geplanten Stillsetzungen pro Jahr.

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Dieser mobile Turbomolekularpumpstand besteht aus der Vorpumpe adixen ACP 15 (mehrstufige Wälzkolbenpumpe) und der Turbomolekularpumpe adixen ATH 200.


Neben dem Einsatz möglichst seriennaher Produkte lassen sich die Anforderungen an ein Vorpumpensystem wie folgt zusammenfassen:
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Rudolf Konwitschny

Der vollständige Artikel ist hier

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Einführung in die Simulation von Halbleiter-Bauelementen

  • 30. November 2017

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