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Photonische Komponenten für MEMS und Sensoren

Inhalte: Integrationsmöglichkeiten für Lichtquellen in Si-basierte Plattformen Halbleitende Nanoteilchen in Dünnschichtsystemen Nanostrukturierte optische Schichten Photonische Kristalle für die Sensorik MEMS-Komponenten für die miniaturisierte Infrarotanalytik

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